刻蚀速率和DUMMY

为什么要加dummy

因为相通图层之间不同的距离,导致刻蚀速率不同。简单举例来说,把一根length=1um的poly放在一大片空旷地带(周围没有其他poly),最后这根poly的有效length可能只有0.99um。这在一些模拟版图中可能会导致mismatch,所以一般会被要求在需要匹配的器件两边甚至周围加上dummy以减少mismatch。

怎样加dummy

一般在模拟版图中,为了减少mismatch,会被要求在matching-transistor周围加上dummy

Linux下tar命令详解

01-.tar格式

解包:tar xvf FileName.tar
打包:tar cvf FileName.tar DirName(注:tar是打包,不是压缩!)
02-.gz格式

解压1:gunzip FileName.gz
解压2:gzip -d FileName.gz
压 缩:gzip FileName
03-.tar.gz格式

解压:tar zxvf FileName.tar.gz
压缩:tar zcvf FileName.tar.gz DirName
04-.bz2格式

解压1:bzip2 -d FileName.bz2
解压2:bunzip2 FileName.bz2
压 缩: [*******]$ bzip2 -z FileName
05-.tar.bz2格式

解压:tar jxvf FileName.tar.bz2
压缩:tar jcvf FileName.tar.bz2 DirName
06-.bz格式

解压1:bzip2 -d FileName.bz
解压2:bunzip2 FileName.bz
07-.tar.bz格式

解压:tar jxvf FileName.tar.bz
08-.Z格式

解压:uncompress FileName.Z
压缩:compress FileName
09-.tar.Z格式

解压:tar Zxvf FileName.tar.Z
压缩:tar Zcvf FileName.tar.Z DirName
10-.tgz格式

解压:tar zxvf FileName.tgz
11-.tar.tgz格式

解压:tar zxvf FileName.tar.tgz
压缩:tar zcvf FileName.tar.tgz FileName
12-.zip格式

解压:unzip FileName.zip
压缩:zip FileName.zip DirName
13-.lha格式

解压:lha -e FileName.lha
压缩:lha -a FileName.lha FileName
14-.rar格式

解压:rar x FileName.rar或unrar -e FileName.rar
压缩:rar a FileName.rar FileDir
有关rar请到:http://www.rarsoft.com/download.htm 下载!
解压后请将rar_static拷贝到/usr/bin目录(其他由$PATH环境变量
指定的目录也行): cp rar_static /usr/bin/rar
15.在linux下分卷压缩

tar cvzpf – vmvps | split -d -b 50m
上面的命令是将vmvps这个文件夹分卷压缩,每卷50m,分卷会被命名为x00,x01,x02

在linux下解压
首先需要合并:
合并的命令是: cat x*>vmvps.tar.gz
然后解压:tar xzvf vmvps.tar.gz

在windows下合并文件
copy /b x* www.rar

天线效应及其解决方法

“天线效应”的图片搜索结果

天线效应的产生粗略的讲就是金属表面积累的电荷过多,但又无法形成对地的放电通路,结果很有可能是对栅氧造成破坏。由于现代工艺尺寸越来越先进,沟道长度越来越小,antena的问题就越来越受重视。通常,我们通过金属跳线或者在poly-gate旁边放置足够面积的diode可以避免天线效应的发生。但是金属该往上跳还是往下跳呢?

我们都知道做mask的时候是从低层往高层做的。每一道工序都有诸如平坦化,隔离等,之后肯定会有静电泄放的操作。从这个角度来说,假如metal3过大有antena的问题,我们用metal4对其跳线。在做metal3的mask时,metal3实际上分开的,只有做到metal4的时候他们才会连起来,而到metal4时,metal3的表面电荷已经由于工艺过程减少很多了;而如果用metal2对其跳线,在做metal3时,metal2和metal3是会相连的,并没有起到减少电荷的作用。

栅氧漏电,尽管对功耗不利,但对天线效应是有利的。栅氧漏电可以防止电荷积累达到击穿。所以,实际上可以看到薄的栅氧较厚栅氧不易发生损坏,因为当栅氧变薄,漏电是指数上升的,而击穿电压是线性下降的。

常用的三个避免天线效应的方法

  1. 跳线,而且最好是往上跳线
  2. 增加对地反向偏置diode,
  3. 在信号线上加一组buffer,这个方法既可以规避antena,也可以为信号增加驱动能力

一般来说command file会定义检查是否antena metal连到gate-poly上,还有是否面积过大。解决方法我建议是在靠近gate-poly的地方断开metal用高层metal跳一下,当然这在drc中可能不太好查,所以drc一般规定在发生antena的metal上有一个N-diode,越靠近transistor越好。

cellmap的格式

cellmap的作用是在streamout的时候将原本的topcell_name_a替换成topcell_name_b,格式为

创建一个文件编辑写入需要替换的topcell,在streamout的时候选择Cells选项卡,Load…这个文件即可

Calibre LVL脚本

mentor-graphics-calibre

  • 新建一个文件比如runlvl添加以下命令,把A和B的gds name和top cell name分别代入

  • 运行runlvl

  • 产生一个my.xor的文件,执行

  • 运行完成后生成my.xor.asc这个文件是可以在calibre RVE中读取的文件,my.report这是报告文件,text层的内容更改也会显示在内。