刻蚀速率和DUMMY

为什么要加dummy

因为相通图层之间不同的距离,导致刻蚀速率不同。简单举例来说,把一根length=1um的poly放在一大片空旷地带(周围没有其他poly),最后这根poly的有效length可能只有0.99um。这在一些模拟版图中可能会导致mismatch,所以一般会被要求在需要匹配的器件两边甚至周围加上dummy以减少mismatch。

怎样加dummy

一般在模拟版图中,为了减少mismatch,会被要求在matching-transistor周围加上dummy

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